英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀采用靈敏非損耗型等離子發(fā)射檢測器 (PED)技術(shù)和ProPeak信號處理技術(shù)，適用于半導(dǎo)體行業(yè)的一種高性能分析儀，可對Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC等多種氣體分析?。

英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀產(chǎn)品簡介：

1、優(yōu)異的性能

創(chuàng)新的高靈敏度的等離子體發(fā)射探測器(PED)可以測量超微量Ar、N2、H2、CH4和CO2，CO，和NMHC。

propeak峰值檢測技術(shù)使測量靈敏度高。

直接分析法消除了FID和RGD測量的不確定性。

2、應(yīng)用靈活

在一個(gè)廣泛包括He、H2、N2、 Ar、NMHC、Ar和O2等廣泛常見的背景氣中測量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO等氣體的更全的解決方案。

當(dāng)結(jié)合DF-500和DF-700分析儀可以成為一個(gè)完全獨(dú)立的高純氣體分析的解決方案。

可以遠(yuǎn)程訪問的數(shù)字通信配置：互聯(lián)網(wǎng)/以太網(wǎng)以及RS232。

3、使用簡便

監(jiān)控軟件綜合了為充分色譜圖，處理結(jié)果，統(tǒng)計(jì)和歷史記錄。

內(nèi)部稀釋系統(tǒng)選項(xiàng)易燃?xì)怏w燃料沒有要求，提高*全性和簡化安裝。

4、成本較低

非消耗的傳感器和智能軟件延長了校準(zhǔn)的間隔。

不需要甲烷轉(zhuǎn)化器或消耗的燃料氣。

成本效益和簡單的長期維護(hù)工作。

5、關(guān)鍵應(yīng)用

半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置-質(zhì)量控制

半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置-靜態(tài)分析系統(tǒng)

6、適用規(guī)范和認(rèn)證

規(guī)范： In compliance with Low Voltage, EMC and applicable Directives

認(rèn)證：In compliance with EMC Directives, rated for Overvolta

ge Category II and Pollution Degree 2

英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

SERVOPRO NanoChrome是適用于半導(dǎo)體行業(yè)的一種高性能分析儀，在包括He、H2、 N2、Ar和 O2等廣泛常見的背景氣中測量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO 、Ar 以及 NMHC。

采用先進(jìn)的仕富梅專門開發(fā)的新型等離子發(fā)射光譜檢測器(PED)傳感技術(shù)和propeak軟件，NanoChrome在性能方面超過傳統(tǒng)的火焰離子化檢測器(FID)和還原氣體檢測器(RGD)，在傳感技術(shù)的*全性和穩(wěn)定性，降低成本的能力方面具有相當(dāng)大的優(yōu)勢。

仕富梅的先進(jìn)的信號矯正技術(shù)使用propeak濾波技術(shù)提供一個(gè)高靈敏度、高選擇性 ，你可以信賴的測量。

當(dāng)與仕富梅的DF-500超微量氧和DF-700微量水分析儀共同使用，NANOchrome能夠成為高純氣體監(jiān)測的成套解決方案。